集成光电子器件制造学教学案例
TN201/8796
郑煜, 段吉安编著
北京 科学出版社 2024
978-7-03-077486-6
257页 24cm
集成光学 光电子学 电子器件 生产工艺 教案(教育) 高等学校
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中文图书
本书共三篇13个案例,第1篇主要介绍典型无源和有源光电子器件/芯片的设计及其优化,包括平面光波导设计及优化、平面光波导分路器芯片设计及优化、波分复用/解复用芯片和可调光衰减器设计及优化;第2篇主要介绍集成光电子器件的制造技术,包括二氧化硅光子集成技术、绝缘衬上硅光子集成技术、磷化铟光子集成技术和绝缘衬上铌酸锂薄膜光子集成技术;第3篇主要介绍集成光电子器件封装、测试与可靠性,包括光波导芯片与光纤端面耦合封装、硅光子芯片与光纤垂直耦合封装、半导体激光器芯片与光纤耦合封装、硅基光电子器件异质集成、无源光电子器件可靠性测试。
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郑煜, 段吉安编著. 集成光电子器件制造学教学案例[M]. 北京 科学出版社 2024.
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