薄膜物理与技术
O484/3440
沈杰, 梅永丰等编著
北京 化学工业出版社 2024
978-7-122-44676-3
241页 26cm
薄膜 表面物理学 高等学校 薄膜技术
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中文图书
教育部高等学校材料类专业教学指导委员会规划教材 国家级一流本科专业建设成果教材
本书主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识, 重点讲述了薄膜生长基础, 薄膜生长技术, 包括蒸发、溅射、离子镀、化学气相沉积、原子层沉积、化学溶液沉积以及纳米薄膜组装等, 并对薄膜的基本性质及与光、电相关的一些薄膜材料进行了介绍。
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沈杰, 梅永丰等编著. 薄膜物理与技术[M]. 北京 化学工业出版社 2024.
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