射频等离子体物理基础

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射频等离子体物理基础

O53/1048
王友年, 宋远红, 张钰如编著
北京 科学出版社 2024
978-7-03-077992-2
442页 24cm
射频 等离子体物理学 高等学校
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中文图书
科学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材
本书共分两大部分, 其中第一大部分从第1-8章, 主要介绍低温等离子体的物理模型, 包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体模型等; 第二部分从第9-14章, 侧重介绍不同类型的射频放电和射频等离子体特性, 如容性耦合等离子体、甚高频等离子体的电磁效应、柱状线圈圈感性耦合等离子、平面线圈感性耦合等离子体、螺旋波等离子体和电子回旋共振微波等离子体。
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王友年, 宋远红, 张钰如编著. 射频等离子体物理基础[M]. 北京 科学出版社 2024. 点此复制

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