原子层沉积制造技术及生物传感应用

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原子层沉积制造技术及生物传感应用

TB303/0210
刘磊著
北京 化学工业出版社 2024
978-7-122-45124-8
224页 25cm
纳米技术 应用 生物传感器 研究
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中文图书
本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积 (ALD) 技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。
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刘磊著. 原子层沉积制造技术及生物传感应用[M]. 北京 化学工业出版社 2024. 点此复制

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