纳米集成电路制造工艺
TN405/1230a
张汝京等编著
北京 清华大学出版社 2014
978-7-302-36027-8
XIII, 433页 26cm
纳米材料 集成电路工艺
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中文图书
本书介绍纳米集成电路的制造工艺, 共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面, 很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员, 有一定的参考价值。
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张汝京等编著. 纳米集成电路制造工艺[M]. 北京 清华大学出版社 2014.
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